主要优点
◆ 使用三坐标测量机中的探针接头
◆ 在工件坐标系中测量
◆ 光学测量部分可以进行标定
◆ 可以测量宏观和微观的结构
◆ 使用简单
◆ 费用低

局限
◆ 一维的传感器
◆ 接触式

可以测量的特征
◆ 尺寸, 位置, 二维形貌 (三维形貌部分可测)
◆ 可以用于SPC和首件测量报告