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6"等离子清洗机EQ-PDC-001
EQ-PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机,其等离子腔体尺寸为 6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗,同时可以向腔体通入不同的气体(如氧气和惰性气体等),从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理,此款设备极为理想。
输入
功率
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AC 110V , 50/60 Hz, < 200W
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输出
频率 |
13.56 MHz
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功 率 |
●低档716V DC 10 mA DC 7.2 W
●中档720V DC 15 mA DC 10.5W
●高档740V DC 40 mA DC 30 W
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等离子腔体
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尺寸:6" dia x 6.5" l 石英腔体
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真
空 泵 和 阀 |
●仪器中包括有一双极旋片泵,2XZ-2,抽气速率为2L/s,
●泵上安装有一个不锈钢针阀,其接口为宝塔嘴接头
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通入的气体
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腔体中可以通入多种气体,如N2, Ar, Air ,也可以通入多种混合气体,以满足实验需要 ,不可以通入可燃性气体进入等离子腔体中
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可选
配件 |
●如果基片的直径为2"和4",可以选购石英架,每个石英架上可以放25片
●数字式真空显示计,可以精确显示石英腔体内的真空度
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外型
尺寸 |
11" H x 18" W x 9" D
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细节图(点 击 查 看 大 图) |
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质保期
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一年质保 ( 不包括石英腔体和密封圈)
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质量
认证 |
CE Certified
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