非接触式测厚仪及外围设备

非接触式测厚仪及外围设备

非接触式高精度测量微小位移传感器（间隙检测器），根据检测方法的不同，有电容式及涡电流式两种，共13种传感器，用户可以根据被测对象或被测物形状的不同，选用最合适的传感器。另外，与变换器及显示器配套，可组成最合适的系统。

◆ 微小位移传感器

VE系列 电容式传感器
VS系列 涡电流式传感器

◆ 变换器

VT-510模拟式变换器（VE系列用）

製品写真（VE/VSシリーズギャップディテクタ）

◆ 显示器

CL系列显示器有两种型号，CL-2400是用于导体、半导体测量，CL- 6200用于导体、半导体及绝缘体测量。这两种型号，可广泛应用于硅晶片、铁板、胶片、玻璃板等。与各种传感器配套，可测量0.1 μm ～99.9999mm （导体・半导体测量时）及0.1 μm～5.000mm （绝缘体测量时）。

CL-2400导体・半导体用测厚仪
CL-6200导体・半导体・绝缘体用测厚仪（预定生产）

■ 静电电容式微小位移传感器工作原理

VE系列微小位移传感器是利用传感器与被测物的静电容量变化来测量位移的。静电容量是导体的对向面积S、间隙D等的函数。当对象导体（传感器与被测物）是平行平板时，如上图所示，由静电容量测出间隙（位移）由于c与d成反比例关系，当静电量很小时，很难保证测量结果的稳定性，而且量程也不能太大。本公司最近采用了新的电路，克服了这个缺点，可作到高精度、高稳定性的测量。
　

■ 涡电流式微小位移传感器动作原理

　
VS系列微小位移检测器，是利用涡电流效果，由传感器的线圈（L）和变换部的电容（C）组成LC共振回路，再用石英振荡器将此回路造成共振状态。根据传感器部与被测物间的距离，被测物产生的涡电流损耗，与上述距离的对数成反比，而传感器部的电感，与上述距离的对数成比例。其结果是，被测物一旦振动，共振回路的端电压发生变化，检测该变化信号，就作为具有对数函数特性的距离信号输出，为了使这个信号与距离线性化，附加了高性能的线性化仪。