数字式薄层电阻测试仪ST2253

一、数字式薄层电阻测试仪，四探针薄膜电阻测试仪主要特点：

仪器由主机、测试探头（可选配测试台）等部分组成，测试结果由主机数码管直接显示。也可连接PC机由配套软件在PC机上操作，其数据可由软件显示、分析、保存和打印！

主机主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。

仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的场合。

二、基本技术参数

2.1测量范围

电阻率：10^-4～10⁵Ω-cm

方块电阻：10^-3～10⁶Ω/□

电阻：10^-4～10⁵Ω

2.2可测半导体材料尺寸

直径： Φ15～100mm, 长（或高）度： ≤400mm

2.3测量方位:

轴向、径向均可

2.4. 4 1/2 位数字电压表：

⑴量程： 200mV

⑵误差：±0.1%读数±2 字

2.5数控恒流源

⑴电流输出：直流电流 0～100mA 连续可调，由交流电源供电。

⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA

⑶误差：±0.5%读数±2 字

2.6四探针测试探头

(1)探针间距 1mm

(2)探针压力: 0～2kg 可调,最大压力约 2kg

(3)探针：碳化钨，Φ0.5mm

2.7.电源

输入: AC 220V±10% ,50Hz 功耗：<20W

外形尺寸：主机 260mm（长）×210 mm（宽）×125mm（高）