探针测试台MT-ST102A

简要概述：

ST-102A型探针测试台（英文叫Prober station,中文又称中测台,点测机。)、与测试仪器配接后可用于集成电路芯片及各种晶体管芯的电参数测试及功能调试，适用于科研、新品试制及小批量生产的中间测试。

技术参数：

工作台面	370mm*245mm
载物台直径	6"（定制型）
光学参数	总放大率：50-100倍；手轮调焦范围：60mm；升降调焦范围：200mm；
精密旋转台	粗调范围：360°；微调范围：±10°；最小刻划：1°；铜盘直径：Φ85mm；绝缘盘直径：Φ102mm
三维探针座	探针座X、Y、Z方向调节范围：±3.25mm，分辨率±2μ；三维探针座在工作台面可任意位置固定，由磁性开关控制；最多可布三维探针座6个；探针臂伸出长度：60mm；探针长度：40mm；
探针	探针材质硬质合金，针尖曲率半径2μm；

注：可按用户的实际需求进行订做。

Ø 标准配置：主工作台、显微镜、承片台、三维微调架5个、探针臂5支、探针5支。

Ø 可选配件：三维微调架、探针臂、探针、真空泵。

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