KDY-1型四探针电阻率测试仪
性能特点:
ª 配有双数字表:一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全过程中的电流变化,使操作更简便,测量更精确。
ª 数字电压表量程:0—199.99mV 灵敏度:10μV 输入阻抗:1000ΜΩ
l 基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)
ª 可测电阻率范围:10—4 —1.9×104Ω·cm。
u 可测方块电阻范围:10—3 —1.9×105Ω/□。
ª 设有电压表自动复零功能,当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、4探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、3探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。
ª 流经硅片的测量电流由高度稳定(万分之五精度)的特制恒流源提供,不受气候条件的影响,整机测量精度<3%。
ª 电流量程分五档:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
ª 仪器采用触点电阻更低(<5mΩ)、使用寿命更长的转换开头及继电器(>10万次),在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数,提高了测试仪的可靠性和使用寿命。
ª 可加配电脑,使用专用软件进行数据采集,实现自动换向测量、存储,求平均值,最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。
ª 可配KDDJ-2电动测试架,自动上下运行,使测量更方便快捷。
ª 四探针头采用国际上先进的红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性提高(国家知识产权局已于2005.02.02授予专利权,专利号:ZL03274755.1)。
STY-2R型导电型号测试仪是严格按照国际标准SEMI MF42-1105及国家标准GB/T1550中的全类型整流法设计生产。
由于将三根测试探针做成测量探头,每根探针均有独立伸缩和加压机构,因此样品上无需制备电极。
探针与半导体材料上产生的整流电势差经低噪声、低飘移集成运算放大器放大后,用液晶显示器件直接指示型号。
性能指标:
ª 可准确判别硅材料导电型号的电阻率范围:0.05-1000Ω·cm。
ª 实际可测量硅材料电阻率范围:10-2~104Ω·cm。
ª 可测线度大于5mm的任意形状的硅块和硅片,样品长度、直径不受限制。
ª 显示方式:由显示N和P字样的液晶器件直观指示半导体材料型号。
ª 探针采用耐磨的碳化钨硬质合金,直径0.8mm,每根针有独立的加压机构,压力可在50~500克(单针)范围内根据用户需要进行调整。
ª 外型尺寸:210 100 230(宽高深,单位mm)。
ª 重量:约3kg。
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