面板激光TEG Prober LCD-70-TEG

型号		LCD-70-TEG	LCD-100-TEG
外形		2500mm长2000mm宽2500mm高	3800mm长2500mm宽2500mm高
重量		约9700KG	约14200KG
电力需求		380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
可测试液晶屏尺寸		长宽≤1600 * 1100 mm(W x D) , 厚度≤3mm	长宽≤2400 * 1400 mm(W x D) , 厚度≤3mm
平台功能	Gantry结构	龙门式
	X-Y-Z轴运动行程	1600 * 1100 *58mm	2400 * 1400 *58mm
	X-Y运动速度	0~400mm/s可调
	X-Y精度(最小移动量)	0.1um
	X-Y重复定位精度	±5um
	X-Y 轴驱动	直线电机+光栅尺
	Z 运动速度	0~2mm/s可调
	Z精度	0.25um
	Z重复定位精度	±1um
	Z轴驱动	伺服电机+光栅尺
	Z轴保护	电机保护+机械限位保护
	样品台平整度	25um平整度 (检测方法：显微镜等焦面测试法)
	样品台涂层	防静电涂层
	样品台高低温	Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃)
光学特性	光路系统倍率：	5X ,10X ,20X，50X Objects ，放大倍率范围50X~ 500X
	聚焦	自动聚焦
	CCD	200/500万像素工业相机
	光源	面背光、点背光、上光源
		光源亮度独立可调，面背光可选择分区控制
激光特性	激光系统	激光切割系统（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz)
		0-100%
	激光波长	1064nm，532nm，355nm
	光斑尺度	0.8~1.5um @100X object
		1.0~3.0um @50X object
	工作模式	One Shot/Burst/Continue
	形状	可调节的矩形
探针规格	针卡	两套，可同时测试两个patten
		Pitch范围：定制
		探针材质：钨or铍铜等
		工作模式：可以单独测试，或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。
	探针和TEG对位方式	坐标定位
		测试过程中的二次视觉自动校准
	探针和TEG的接触方式	自动接触
		探针自动保护功能:机械限位，可以根据panel厚度设定限位高度，也可以按探针接触样品测试Pad时发生的形变，设备通过探针形变情况，从而确定压入量。
	探针轴旋转行程	360°
	探针旋转精度	0.01°
	旋转重复定位精度	0.03°
	探针清洁	自动清洁
		清洁后视觉自动判断
	探针台漏电精度（安装针卡的情况）	100fA 以内（测试标准：给针卡任意针脚加压-5V~+5V，在不吹N2的情况下，空载测试漏电流<100fA）
		吹氮气N2辅助干燥(Recipe 可以设置是否开启，且测试报告体现开N2与不开N2区别)
测试能力	测试系统	两套
		半导体参数测试系统 2HRSMU+4MPSMU+CV 测试单元等
	TFT测试项目	Ion
		Ioff
		Vth
		Mobility
		Swing
	Resistance测试项目	Rs
		Rc
	其他客户需要的项目	options
	最大输送电压	+-200V
	最大输送电流	+-1A
	电流测试分辨率	1fA（无需前置放大器）
	电压测试分辨率	0.5uV
	CV 测试频率范围	1kHz~5MHz
	接地单元电流宿能力	4.2A GNDU
控制	工作模式	自动测试，实现数据的自动导入和输出，联机通讯
		手动或者半自动测试
	上下片	机械手或者流水线
	CIM系统	有
	减震	主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动
	工业PC	23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡，DVD-ROM
	通讯接口	RS232/EtherCAT/GPIB等
	安全	整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作
		紧急开关EMO
		限位sensor，运动平台和探针系统限位互锁
		Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选)
应用		TFT-LCD Panel TEG 探针测试，OLED Panel TEG探针测试