磁控溅射镀膜机 Psur-100VB

品牌	台湾聚昌AST	型号	Psur-100VB
适用范围	LED芯片制造

AST聚昌科技Psur-100VB磁控溅镀设备(Magnetic Enhanced Sputter)是针对各种金属化製程、扩散阻障层或反应式光学薄膜等应用所设计的批量式量产设备。

应用

AST聚昌科技Psur-100VB磁控溅镀设备(Magnetic Enhanced Sputter)是针对各种金属化製程、扩散阻障层或反应式光学薄膜等应用所设计的批量式量产设备。尤其在ⅢⅤ族半导体的生产过程中，溅镀薄膜沉积製程之运用，已占有愈来愈多且重要的地位。主要的应用可分为下列三大类：

(1) WTi/Au/Ti或Ti/Au

(2) TaN或TiWSiN

(3) ITO或SiO2，TiO2

特点

Psur-100VB为符合量产上的需求，採用Batch Type大型量产全自动化功能设计，可大幅降低人员需求与人为疏失可能造成的良率与品质的不稳定性，确保整体的有效产出，此外，模组化的设计、优异的镀膜均匀性及批量化的生产模式，可提高250%的产能，进一步减少使用者资本支出及设备佔用面积。Psur-100VB溅镀设备的特点包括：

(1)高产出率（80 *∮2”wafers）

(2)高镀膜品质再现性与稳定性

(3)优异的Batch to Batch镀膜均匀性（＜3%）

(4)可搭配批量式全自动化软体控制功能

(5)可扩充多样工业用方形靶材(Up to 4 Cathodes of Target)

(6)可搭配DC-Pulse或RF溅镀模式

(7)适用于各种不同基板，藉由以上功能，可提供使用者不同的製程量产需求之操作模式。