1.
洁净层流罩是一种可提供局部洁净环境的空气净化单元可灵活地安装在需要高洁净度地工艺点上方,洁净层
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流罩可以单个使用,也可多个组合成带状洁净区域。
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2.
洁净层流罩是将空气以一定地风速通过高效过滤器后,形成均流层,使洁净空气流呈垂直单项流,从而保证
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了工作区内达到工艺要求地洁净度,送入工作区。
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3.
洁净层流罩有分机内装和分机外接两种,安装方式有悬挂式和落地支架式两种。
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洁净度:工作区内
≥
0.5μm
粒径的尘埃
≤3.5
颗
/
升
(FS209E100
级
)
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噪声:
≤
64dBA(A)
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平均风速风速:
0.3-0.48m/s
除按本公司现有规格生产外,还可根据客户要求特别设制作。
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BCZ
洁净层流罩技术参数
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