-
- 地区
- 全部
-
- 会员级别
- 全部
产品功能
ZLM800多轴路同步激光干涉仪——双频激光干涉仪,主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等,最多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系检测物体的振动变化。
1.纳米级的多轴联动位移、速度、加速度的动静态测量分析及运动控制环同步测量校准;
2.同步实时测量多轴联动驱动部件的俯仰、扭摆、滚动的角位移变化, X-Y-Z 轴的联动插补位移误差及驱动匹配误差分析;
3.纳米级振动的多轴向同步数据采集测量和分析。
技术参数
32 Bit (实时时间)
数据延时< 20 ns
性能优势
应用案例
ZLM800部分光路图示例
从X、Y和Z方向同时测量位移变化,其中X和Y在一个水平层面上
资料下载
复杂光路测量的应用.pdf
系统应用简介.pdf
- 询价产品:多轴路同步激光干涉仪 ZLM800
- 询价数量: /个
- 联系人:
- 联系电话: