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3D激光干涉仪--同步测量被测物体的位移、偏摆角和俯仰角 | ||||||
世界范围内,同类产品中效率精度最高的干涉仪。
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上图为从一个坐标轴方向同步测量物体的位移、偏摆和俯仰角光路图
三轴测量软件(位移、偏摆和俯仰角) | 三角关系的设定 |
测量结果的统计 | 在位置5开始测量 |
位移和角度的完全测量 | ISO230数据统计标准 |
视频演示
技术参数
位移测量范围 |
15 m |
位移测量分辨率 |
1.25 nm |
位移测量精度 |
+/-0.4 ppm(需使用环境补偿器) |
位移测量最大速度 |
2 m/s |
位移速度测量精度 |
1 ppm |
角度测量范围 |
+/-10° |
角度测量分辨率 |
0.006 arc second |
角度测量精度 |
+/-0.1 ppm(角度沿某中心旋转) +/-0.02%+/-0.5+/-0.1M(M=轴向标定距离,单位为米) |
角度测量最大速度 |
90 rad/s |
角速度测量精度 |
1 ppm |
资料下载
系统应用简介.pdf
双频激光干涉仪综合样本.pdf