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品名：位置敏感传感器PSD
型号：wi14365

梳状结构一维PSD方面

提出并完成了梳状结构一维PSD的设计原理，首次理www.winstrument.cn论分析了该结构的工作原理

和工作特性，建立了一维PSD的工艺流程、生产线和测试系统。实际制成1mm×8mm一

维梳状结构PSD器件，对器件性能参数测试结果表明，所研制的1mm×8mm一维梳状结

构PSD具有良好的性能，尤其具有优良的线性度，均方根非线性小于0.15％，典型位

置误差±5μm，该性能参数达到目前国内领先水平。


二维PSD研制方面

　 提出并完成了四边形结构和枕形结构二维PSD的设计原理，建立了这两种结构二

维PSD的工艺流程、生产线和测试系统，实际制成3mm×3mm四边 形结构二PSD器件。

器件性能参数测试的结果表明，所研制的3mm×3mm四边形结www.winstrument.cn构二维PSD具有良好的性

能。

　　首次理论分析了四边形结构二维PSD的位置非线性问题，提出了提高该结构二维

PSD线性度的方法，并研制了具有非线性修正功能的处理器，经该处理器处理，在器

件中央60％有效光敏区域的均方根非线性达到 0.15％该性能参数达到目前国内外领

先水平；所研制的3mm×3mm四边形结构二维PSD器www.winstrument.cn件已经在原子力显微镜中应用。




位置敏感探测器 PSD　　
　　

位置敏感探测器(PSD)是一种光电测距器件。PSD基于非均匀半导体"横向光电

效应"，达到器件对入射光或粒子位置敏感。PSD由四部分组成：PSD传感器、电子

处理 元件、半导体激光源、支架（固定PSD光传感器与激光光源相对位置）。

　　PSD的主要特点是位置分辨率高、响应速度快、光谱响应范围宽、可靠性高，

处理电路简单、光敏面内无盲区，可同时检测位置的光强,测量结果与光斑尺寸和

形状无关 。由于其具有特有的性能，因而能获得www.winstrument.cn目标位置连续变化的信号，在位

置 、位移、距离、角度及其相关量的检测中获得越来越广泛的应用。

　　在PSD光电实验中，根据读出电压值的变化，可以知道物体的运动变化，从而

达到了解光电传感器的构造原理和电子线路的设计与实践 、运算放大器的应用 。

由 于其具有精度高的优点，在测量物体时，即www.winstrument.cn使测量物体位置有微小的变化，电

压值都会有很明显的变化。PSD的光斑活动位置可由光传感器的两端电极输出的电

流决 定，位置距离分辨率为1400mV/1mm（供±5V系统数据显示器）或更大。