技术参数（无负载，20摄氏度）
步进电机驱动 直流伺服电机驱动
行程 50/80/155/195/260mm 50/80/155/195/260mm
速度/最大 25mm/s
负载/最大 150N
驱动力/最大 60N
螺距 1mm
重复定位精度/双向 <2um
位置误差 <16um/100mm
偏转角 <75urad
俯仰角 <75urad
垂直偏差 <2um
水平偏差 <2um
电机电压/最大 40V 24V
保持电压 3.2V
电机电流/最大 1.8A 3.3A
每转步数 200 2000

• 高强度铝合金材质
• 50/80/155/195/260mm行程可选，最长可达260mm
• 双向重复定位精度优于2um
• 无空回球形螺杆
• 预紧球形轴承
• 高精度Hall-effect ，机械，感应限位开关

可选项
• 制动刹车
• 光栅尺（精度±3 µm/m 分辨率0.1 µm）

德国OWIS公司的LIMES122系列高精度线性位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺顶级黑色电镀。