ALPAO高速变形镜

\r\n

\r\n\r\n

变形镜，又称变形反射镜（DM），主要运用于各种自适应光学系统之中，主要用于校正波前畸变，它由很多驱动单元组合而成，每个驱动单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，变形镜的镜面可以产生需要的形变量，从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一。
ALPAO是从法国JosephFourier大学独立出来的公司，主要开发电磁场驱动的MEMS驱动器，蕞高到820 个驱动器，行程达80?m，表面质量<7nmRMS，采用目前世界上蕞先进的抛光工艺，表面粗糙度<1nm，变形镜的响应时间只有500us，带宽可以达到2KHz。

\r\n\r\n

\r\n ALPAO高速变形镜,可变形反射镜，可变形镜,deformable mirror

\r\n\r\n

ALPAO公司可变形镜

\r\n\r\n

ALPAO公司MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性<1%，高线性度>97%。相比于MEMS静电变形镜来说，电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量，更高的调制精度。

\r\n\r\n

\r\n \r\n

\r\n\r\n

主要特点：

\r\n\r\n

\r\n
调制量大：波前相位调制幅度超过80μm
\r\n\r\n
\r\n
稳定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours
\r\n

\r\n\r\n

· 高动态范围：响应时间小于500μs

\r\n\r\n

· 镀膜质量高： R>97% @500nm- 2.0?m

\r\n\r\n

\r\n
表面平整：表面粗糙度 <15? RMS
\r\n\r\n
\r\n
亚纳米步长精度
\r\n\r\n
\r\n
低磁滞：磁滞误差小于1%
\r\n\r\n
\r\n
单通道相位调制幅度>5.0 ?m PTV
\r\n

\r\n\r\n

法国ALPAO高速变形镜主要型号相关参数如下：

\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n

\r\n 型号 \r\n\r\n 参数 \r\n	\r\n DM69 \r\n	\r\n DM88 \r\n	\r\n DM97-08 \r\n	\r\n DM97-15 \r\n	\r\n DM241 \r\n	\r\n DM277 \r\n	\r\n DM468 \r\n	\r\n DM820 \r\n
\r\n 单通道口径 \r\n	\r\n 1.5mm \r\n	\r\n 2.5mm \r\n	\r\n 0.8mm \r\n	\r\n 1.5mm \r\n	\r\n 2.5mm \r\n	\r\n 1.5mm \r\n
\r\n 通道数 \r\n	\r\n 69 \r\n	\r\n 88 \r\n	\r\n 97 \r\n	\r\n 97 \r\n	\r\n 241 \r\n	\r\n 277 \r\n	\r\n 468 \r\n	\r\n 820 \r\n
\r\n 孔径 \r\n	\r\n 10.5mm \r\n	\r\n 20.0mm \r\n	\r\n 7.2mm \r\n	\r\n 13.5mm \r\n	\r\n 37.5mm \r\n	\r\n 24.5mm \r\n	\r\n 33.0mm \r\n	\r\n 45.0mm \r\n
\r\n 闭环系统镜面平整度 \r\n	\r\n 7.0nm RMS (no print through effects) \r\n
\r\n 蕞大形变量（PTV) \r\n	\r\n 60?m \r\n	\r\n 40?m \r\n	\r\n 80?m \r\n	\r\n 60?m \r\n	\r\n 40?m \r\n	\r\n 15?m \r\n
\r\n 聚焦/散光形变量（PTV） \r\n	\r\n 40?m \r\n	\r\n 30?m \r\n	\r\n 40?m \r\n	\r\n 40?m \r\n	\r\n 30?m \r\n	\r\n 10?m \r\n
\r\n 3x3蕞大形变量（PTV) \r\n	\r\n >25?m \r\n					\r\n >10?m \r\n
\r\n 响应时间（+/-10%) \r\n	\r\n 800μs \r\n	\r\n 1.6ms \r\n		\r\n 800μs \r\n	\r\n 1.6ms \r\n	\r\n 500μs \r\n
\r\n 带宽 \r\n	\r\n >750HZ \r\n	\r\n >400HZ \r\n		\r\n >750HZ \r\n	\r\n >400HZ \r\n	\r\n >2000HZ \r\n
\r\n 45°相位延迟频率 \r\n	\r\n > 500 Hz \r\n	\r\n > 300 Hz \r\n		\r\n > 500 Hz \r\n	\r\n > 300 Hz \r\n	\r\n > 1500 Hz \r\n
\r\n 回程误差 \r\n	\r\n <2% \r\n
\r\n 非线性误差 \r\n	\r\n <3% \r\n
\r\n 涂层 \r\n