扫描电子显微镜 CS3400
上市时间：2008年1月

创新点

CamScan CS3400钨灯丝扫描电镜技术优势


设计理念：
 设计和制造高端扫描电镜
 科学研究级的扫描电镜.
 综合性能最好的扫描电镜


一、 关于灯丝寿命
我方承诺，在高分辨率模式下操作，灯丝寿命可达200小时以上。就是说，此时灯丝电流足以保证对样品进行高分辨率图象的观察，而此种状态下灯丝的使用寿命可达200小时以上。此时的灯丝电流非常接近其饱和点，仅比其饱和点低一点点(10%以内)。
CamScan扫描电镜的超长灯丝寿命，来源优化的真空系统设计。
对比主要竞争对手，其灯丝寿命最多达到100小时。而两家日本电镜厂家的灯丝寿命仅为50小时。
灯丝寿命长，可降低仪器的运行成本。此外，它还使得束流非常稳定，非常有利于能谱分析，特别是波谱仪的分析工作(如果将来购买的话)。


二、 关于电子光学系统
CamScan是电子光学设计的领导者。其扫描电镜采用最先进的电子光学系统，并配以一系列先进的、有些是专利的设计，在电子束对中、消像散、调焦等方面均取得了很大的技术进步。在高倍下图象清晰，并且高倍景深很好；而其最小放大倍数仅为3倍。更为难得的是，从3倍开始，在其放大倍率的全范围内，其图象无畸变。这是目前仅有一家扫描电镜全程无畸变。


三、 几何位置可调整的二次电子探测器
CamScan公司设计了几何角度可调的二次电子探测器。这是一种独特的设计，其意义为：当样品落差较大或工作距离较大时，被激发的二次电子信号到探测器的距离会相对较长而衰减。通过这一调整，可以使二次电子探测器更为靠近样品的观察区域，从而得到更好的图象质量。


四、 扫描电镜系统的减振
CamScan扫描电镜采用气垫方式减振。
目前市场上的绝大多数钨灯丝扫描电镜均采用弹簧减振方案，而高成本的气垫减振方案仅用于昂贵的场发射扫描电镜上。
由于CamScan扫描电镜采用气垫减振方案，所以其外界振动相对更不敏感。CamScan扫描电镜对周围环境的振动要求为：振幅：最大3微米，低至5Hz。这一指标很容易达到。
此外，CamSCan的气垫减震系统带水平传感器和自动水平调整功能。


五、 超大样品室和样品台
CamScan扫描电镜的样品室很大，其最小的一款的内部尺寸为：413mm(宽) ×313mm(高)×313mm(深)，可以装入很大的样品。接口很多，数量达14个，为以后安装各种附件提供了最大的方便。可在样品台的同一侧，同时安装能谱仪，波谱仪和EBSD，并可做到与二次电子探测器在同一方向。
一般情况下，扫描电镜配备的样品台可允许的样品最大高度为80mm。但用户可选配低位样品台，使样品最大高度达到185mm.


六、 样品室上设有观察窗（仅配置于CS3400扫描电镜）
这又是一个独特的设计。在实验时，可使研究人员以比较好的的角度对样品室内的情况和样品受电子束激发产生的现象，如阴极发光等，直接进行观察。此外，在此观察窗上可以安装光学显微镜，可用于例如对地质的薄片样品进行分析。或者用于精确的工作距离调整以便对波谱仪的分析更加准确。


七、 高精度的样品台移动
CamScan扫描电镜标配的马达台，在X、Y和Z三轴方向是高移动精度的马达台，移动精度为0.2微米。而对于长程的定位精度，还可选配长程数码定位系统以提高移动精度。
高精度的样品台移动对于自动特征物的搜索意义重大。


备注:
1. 在低真空模式下, LEASE 二次电子探测器吸收二次电子信号在观察物体形貌像, 如汽轮机水垢及部件氧化物方面效果非常好.
2. CamScan CS3400扫描电镜配有观察窗，具有防辐射功能, 带有铅玻璃可直接观察样品室内部情况.
 

技术参数

1.放大倍率: 3x to 600,000x
2.低真空模式: 1-300Pa （三种可选气体)
3.优中心样品台马达驱动标配: X=100mm, Y=150mm
4.样品室内部尺寸: 315mm x 415mm x 315mm
5.SEM高分辨显示屏: 双 18" 高分辨率 LC 显示器
 

主要特点

1.卓越的电子光学，在保证高分辨率的同时，具有无与伦比的低倍性能（保证3倍下图像无畸变）。
2.超大样品室，最小一款内部尺寸（宽413mm x 深313 mm x 高313mm）。
3.完美的附件接口排列设计，附件接口多于16个。
4.样品室上设有观察窗并可选装光学显微镜。
5.可在样品室的同一侧，同时安装多个探测器。
6.高精度样品台, 单步移动精度≤0.2μm。
7.几何位置可调整的二次电子探测器，改善图像质量。
8.安装X射线波谱仪后，性能与指标与电子探针相同，甚至优于电子探针。
9.大视野大范围的信息分析。
10.独特的 CamScan Helios 软件操作。
11.与Delta Pad 手动操作单元配合使用，效果更佳。
12.独有的超静音设计，更符合人体工程学。
13.安装了自动水平传感器的气垫减震装置。
 

仪器介绍

这是研究分析型扫描电镜中的一款，拥有良好稳定性和最高精度。此系列产品涵盖了能与任何一款扫描电镜兼容的大部分附件（包括50kv下的操作）。电源可选钨灯丝，LaB6 或 FEG 。融合最新的设计和最入时的设计，我们确信拥有顶尖性能的此系列产品一定可以很好的与现代办公环境相适应，而且很容易操作。
简便的工作台设计，双液晶显示屏，超稳定的电子光学系统，设计精密的样品室和样品台，所有这些都保证了CS3000系列能够很好的服务当今及未来社会的需求。这些显微镜具备许多自动化特征，独特的 CamScan Helios 软件操作，用户只需轻轻点击鼠标就可以完成对它的操作，与Delta Pad 手动操作单元配合使用，效果更佳。
 

分析方法

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