扫描电子显微镜 Apollo 300
上市时间：2008年1月

创新点

CamScan Apollo300热场发射扫描电镜技术特点
设计理念：


 设计和制造高端扫描电镜
 科学研究级的扫描电镜.
 综合性能最好的扫描电镜


一、 关于电子光学系统
CamScan是电子光学设计的领导者。其扫描电镜采用最先进的电子光学系统，并配以一系列先进的、有些是专利的设计，在电子束对中、消像散、调焦等方面均取得了很大的技术进步。在高倍下图象清晰，并且高倍景深很好；而其最小放大倍数仅为3倍。更为难得的是，从3倍开始，在其放大倍率的全范围内，其图象无畸变。这是目前仅有的一家扫描电镜全程无畸变。
尤其是采用上位探测器观察高位图像时，采用了独特的电子光学设计，大大培强了高倍景深和图像立体感。
CamScan Apollo系列扫描电镜电子束的最大束流为100nA。


二、 几何位置可调整的二次电子探测器—In Chamber探测器
CamScan公司设计了几何角度可调的二次电子探测器。这是一种独特的设计，其意义为：当样品落差较大或工作距离较大时，被激发的二次电子信号到探测器的距离会相对较长而衰减。通过这一调整，可以使二次电子探测器更为靠近样品的观察区域，从而改善图象质量。


三、 Delphi透镜穿过式(Through-Lens)二次电子/背散射电子探测器
为增强小工作距离下观察高分辨率图象的效果，CamScan设计了Delphi透镜穿过式(Through-Lens)二次电子/背散射电子探测器。与其它公司的In-Lens探测器相比，在几乎不损失分辨率的情况下，增强了高倍图像的景深，图像的立体感好。


四、 超大样品室
CamScan扫描电镜的样品室很大，其最小的一款的内部尺寸为：413mm(宽) ×313mm(高)×313mm(深)，可以装入很大的样品。接口很多，数量达16个，为以后安装各种附件提供了最大的方便。可在样品台的同一侧，同时安装能谱仪，波谱仪和EBSD，并可做到与二次电子探测器在同一方向。


五、 关于加速电压
CamScan扫描电镜的标配加速电压为30kV,但可以选配50kV加速电压的电子枪。更高的加速电压有利于：
1、波谱分析和未来能谱分析
2、对半导体EBIC,电压衬度像,电阻衬度像
3、对生物样品和薄膜样品,当增加透射探头时,效果更好
4、对其它附件，如CL等，可使实验条件更好
5、是组成电子束暴光机(纳米表面加工)的最理想的扫描电镜


六、 样品室上设有观察窗并可选装光学显微镜
这又是一个独特的设计。在实验时，可使研究人员以比较好的角度对样品室内的情况和样品受电子束激发产生的现象，如阴极发光等，直接进行观察。
此外，在此观察窗上还可以安装光学显微镜，例如对地质的薄片样品进行分析等，或者用于精确的工作距离调整以使波谱仪的定量分析更为准确。


七、 可选配高定位精度的马达台
CamScan扫描电镜标配的马达台，在X、Y和Z三轴方向是高移动精度的马达台，移动精度为0.2微米。而对于长程的定位精度，只要选配CamScan的定位反馈控制系统，其定位精度即可达到1微米。


八、 超静音设计
仅有CamScan扫描电镜采用的绝对静音的设计。其标志为，所有设计均考虑到”静音”，即使是机械泵的噪音也被考虑。设计和制造中，采用大的真空缓冲器，到达工作真空时，机械泵将被关闭，而且此精度不会随机械部件的长期磨损而下降。
 

主要特点

1.卓越的电子光学，在保证高分辨率的同时，具有无与伦比的低倍性能（保证3倍下图像无畸变）。
2.超大样品室，最小一款内部尺寸（宽413mm x 深313 mm x 高313mm）。
3.完美的附件接口排列设计，附件接口多于16个。
4.样品室上设有观察窗并可选装光学显微镜。
5.可在样品室的同一侧，同时安装多个探测器。
6.高精度样品台, 单步移动精度≤0.2μm。
7.几何位置可调整的二次电子探测器，改善图像质量。
8.独有的Delphi Through-Lens二次电子/背散射电子上位探测器，图像立体感更好。
9.安装X 射线波谱仪后，性能与指标与电子探针相同，甚至优于电子探针。
10.大视野大范围的信息分析。
11.独特的 CamScan Helios 软件操作。
12.与Delta Pad 手动操作单元配合使用，效果更佳。
13.独有的超静音设计，更符合人体工程学。
14.安装了自动水平传感器的气垫减震装置。


 

技术参数

1.电子枪: 高精度预对中三级透镜，由安装了高亮度肖特基电子光源的热场电子枪和两级磁透镜组成
2.最大束流: 典型30nA (在减小分辨率的情况下,可达100nA)
3.放大倍率: ＜3x to＞900，000x
4.加速电压: 0.1到30KV
5.内部尺寸: 宽413mmx深313mmx高313mm
6.多个附件接口: 用于EDX, WDX, EBSD, SEI 的16个位置合理的附件接口
7.样品台: 6轴，优中心中样品台移动，高精度样品移动，大样品台
8.样品台移动：X=100mm,Y=100mm,(Y=150mm,选配)Z=50mm,倾斜角=-5to+90°，Z'=10mm,旋转角=360°
9.DELPHI透镜贯穿式(SE/BSE）上位探测
 

仪器介绍

现有的Apollo 300靠着丰富的经验，将最新的30KV肖特基场发射技术与先进的样品室/样品台设计完美结合，生产出了独有的透镜贯穿式探测器，从此世界上性能最综合的扫描电镜之一诞生了。

分析方法

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相关资料

1.扫描电子显微镜基础知识