公司名称:北京元中锐科集成检测技术有限公司 所在地:北京东城 发布时间:2009-08-07 联系人:周向群 联系电话: 010-51295688 北京元中锐科集成检测技术有限公司 产品简介 工业检测显微镜 产品详情 技术参数 M51 光学系统: UIS (无限远矫正) 光学系统 MX51 显微镜镜体: Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围:32mm(从焦面上行2mm和下行30mm) 行程相同:15mm(配合透射光照明) Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm) 调焦机构张力可调 有调焦上限位机构 MX51 照明系统: BX-KMA明视场照明器 BX-RLA2明视场/暗视场照明器 BX-URA2万能照明器 MX51 透射照明: 明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件 (MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用) 主要特点 ● 紧凑的设计实现最小的占地空间 ●镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能 ●标配158X158mm手动移动载物台(最大可用于200mm晶圆检查) ●选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查 ●采用防静电设计,极大方便磁头检查 ●提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准 仪器介绍 注:更多详细介绍请联系本公司 商铺其他产品 联系商家 立即询价 发布询价单 询价产品:工业检测显微镜 MX51 询价数量: /个 联系人: 联系电话:
技术参数 M51 光学系统: UIS (无限远矫正) 光学系统 MX51 显微镜镜体: Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围:32mm(从焦面上行2mm和下行30mm) 行程相同:15mm(配合透射光照明) Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm) 调焦机构张力可调 有调焦上限位机构 MX51 照明系统: BX-KMA明视场照明器 BX-RLA2明视场/暗视场照明器 BX-URA2万能照明器 MX51 透射照明: 明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件 (MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用) 主要特点 ● 紧凑的设计实现最小的占地空间 ●镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能 ●标配158X158mm手动移动载物台(最大可用于200mm晶圆检查) ●选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查 ●采用防静电设计,极大方便磁头检查 ●提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准 仪器介绍 注:更多详细介绍请联系本公司