性能指标
稀释气入口数：1
源气入口数：3
稀释质量流量控制器：0～10L/min（可扩展）
标气质量流量控制器：0～100ml/min（可扩展）
流量准确度：±1.0%
流量重复性：0.15%F.S
线性：±0.15%F.S
气体压力：100kPa～200kPa
响应时间：T90≤60s
稀释率：100:1～1000:1(标准)
输出通道：3
工作环境温度：0℃～40℃