单波长椭偏仪无

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单波长椭偏仪（激光椭偏仪）

价格：面议

产品型号：无　

公司名称：安合盟（天津）科技发展有限公司

所在地：天津蓟县

发布时间：2009-08-07

联系人：张经理郭经理

联系电话： 022-83719679,13820396836，18920225686

安合盟（天津）科技发展有限公司

产品简介

单波长椭偏仪（激光椭偏仪）

产品详情

技术参数
波长：637nm
入射角：连续，30~90°（±0.03°）
样品尺寸：4inch~8inch
精度：（1200A SiO2标准片，5times）
TKS±2.5A/N±0.005
尺寸：80cm×34cm×42cm
应用：
镀膜工艺最佳化及监控
SiNx减反膜工艺
TiO2减反膜工艺
复合SiNx减反膜工艺
SiO2钝化工艺
复合SiNx/SiO2减反膜工艺
SiO2掩膜工艺

主要特点
软件特征：
整合量测、分析、计算
操作模式安全化
同步原始数据呈现
硬件特征：
半导体镭射光源
三格林泰勒棱镜偏振系统
波长：260-1800nm
消光比：＞105
发散角：≤3mrad
真空吸附载物台
自动连续入射角（零度校正）
高分辨率半导体探测器

仪器介绍
软件特征：
整合量测、分析、计算
操作模式安全化
同步原始数据呈现
硬件特征：
半导体镭射光源
三格林泰勒棱镜偏振系统
波长：260-1800nm
消光比：＞105
发散角：≤3mrad
真空吸附载物台
自动连续入射角（零度校正）
高分辨率半导体探测器

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