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产品型号：MILA-5000系列
公司名称：弘埔技术(香港)有限公司
所在地：上海嘉定
发布时间：2009-08-07
弘埔技术(香港)有限公司
产品简介
台式红外线灯管加热炉
产品详情
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联系人：张先生
技术参数
●技术指标
型号 高温型 均热型
程序操作型 MILA5000-P-N MILA5000-P-F
温度范围 RT～1200℃(MAX) RT～800℃(MAX)
试样尺寸 20mm×20mm×2.0mmt(MAX) 20mm×20mm×2.0mmt(MAX)
温度传感器 K热电偶 K热电偶
电源容量 AC200V / 4KVA AC200V / 4KVA
主要特点
温度升温速度快，精度高
●特长
50/sec的快速加温
式样在保护管内加热，所以气氛可选择真空，各种气体，流动气体
式样温度与程序设定温度同时显示，可完成精密的温度控制
仪器介绍
随着半导体制造工艺朝着高密度，高集成方向的迅速发展，科技研发人员将对RTP(Rapid Thermal Processing)的加热技术更加关注。MILA-5000系列红外线加热炉具有快速加热和快速冷却的功能，无环境污染等特长，并同高精的温度控制器组合为一体。对于记忆材料和强导电体相关的RTP研究工作，MILA-5000红外线加热炉将提供更广泛的测量领域。
●用途
强诱导体薄膜的结晶化退火
注入离子后的扩散退火
半导体材料的烧成与退火条件研究
玻璃基板的均热退火
热循环试验与热冲击试验
升温脱离试验与触媒试验
分析方法
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- 询价产品：台式红外线灯管加热炉 MILA-5000系列
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