公司名称:巨力科技股份有限公司 所在地:北京通州 发布时间:2009-08-07 联系人:李先生 联系电话: +86-13911120013 / +86-10-59073097 巨力科技股份有限公司 产品简介 沉积速率监控/控制系统 产品详情 技术参数 主要特点 *实时薄膜沉积速率、薄膜厚度和光学常数(n&k)分析,同时标准偏差统计分析; *自动程序化校准; *精密的实时反馈系统; *程序控制,可实时多层薄膜沉积监控和控制; *多Wafer监控功能; *Wafer基底旋转监控和控制功能; *所有参量原位实时检测; *操作装配简单便捷; 仪器介绍 全球最专业的薄膜沉积速率监控系统,采用无损的激光技术实时原位检测薄膜沉积速率、薄膜厚度以及光学常量(n&k),可广泛的应用于金属有机化学气象沉积MOCVD、分子束外延MBE、溅射系统Sputtering和蒸发系统等薄膜沉积过程的实时原位监控。 商铺其他产品 联系商家 立即询价 发布询价单 询价产品:沉积速率监控/控制系统 KSA RateRat 询价数量: /个 联系人: 联系电话:
技术参数 主要特点 *实时薄膜沉积速率、薄膜厚度和光学常数(n&k)分析,同时标准偏差统计分析; *自动程序化校准; *精密的实时反馈系统; *程序控制,可实时多层薄膜沉积监控和控制; *多Wafer监控功能; *Wafer基底旋转监控和控制功能; *所有参量原位实时检测; *操作装配简单便捷; 仪器介绍 全球最专业的薄膜沉积速率监控系统,采用无损的激光技术实时原位检测薄膜沉积速率、薄膜厚度以及光学常量(n&k),可广泛的应用于金属有机化学气象沉积MOCVD、分子束外延MBE、溅射系统Sputtering和蒸发系统等薄膜沉积过程的实时原位监控。