工作电压:110~250 V
▪ 尺寸:40 cm(W)x30 cm(D)x30
cm(H) (典型)
▪ 重量: 15 kg
▪ 角度: 45~90°

钨卤素灯, 氙灯,
氘灯(UV-可选)
▪ 工作电压: 100 V, 220 V
▪ 功率: 35, 50,75, 100 W

(5 mm ´ 5 mm) ~ (100 mm ´ 100 mm)

光谱型椭偏仪(专业的应用软件）
Ø 多角度测角器（手动l).
Ø 紫外-可选.
Ø 此系统应用于检取薄膜的厚度，反射率及其他特性
Ø 易于操作，专利技术及设计。
Ø 无需复杂的安装流程.
Ø 一体操作.
Ø 优良的软件操作系统.
Ø 多层膜模拟, 有效的媒介计算功能，逆行分析.
Ø Windows 基于32-bit操作环境(系统软件）

椭偏仪主要用于半导体、导体、介质和液体薄膜的厚度、光学特性、成分比例和表面粗糙度等测量和分析，也可用于半导体器件和FPD显示等领域。目前主要产品分光椭偏仪，以独特的设计和无需校准等多项先进专利技术，使得测试时间大大减少的同时极大地增加了测量精度。
最新开发的多传感头的分光椭偏仪，用于半导体和显示器生产线的在线Mapping.