一、用途 
(1)二、三维表面形貌测量 (2)膜厚和台阶测量 
(3)刻线和沟槽尺寸测量 (4)任意曲面形貌测量 
(5)球面和非球面轮廓非接触测量 (6)MEMS器件三维尺寸测量 
(7)微光学元件测量 
二、仪器构成 
(1)宽带光干涉显微镜 (2)垂直位移扫描工作台 
(3)摄像及图像处理系统 (4)工控机 
三、测量原理 
(1)相移扫描干涉(PSI) (2)垂直扫描白光干涉干涉(VSI) 
四、性能指标(基本配置) 
(1)垂直测量范围 0～50µm (2)垂直分辨率 1nm 
(3)测量区域 0.32mm×0.24mm (4)显微镜数值孔径 0.4 
(5)显微镜放大倍数 25× (6)光学分辨率 0.5 
(7)表面反射率 1％～100％ (8)CCD有效像素 768×576 
(9)扫描速度 5µm/s 
注：用户可根据需要选择不同放大倍数的显微镜，10×、25×、40×、60×可选择。 
五、软件及功能 
1 虚拟仪器操作界面，包括： 
(1)取样长度选择； (2)评定长度选择； 
(3)取样长度内采样点数选择； (4)测量速度选择； 
(5)传感器量程的选择； (6)传感器定标。 
2 滤波选择 
(1)最小二乘中线(面)方法； (2)算术平均中线(面)方法； 
(3)多项式方法； (4)高斯方法。 
3 评定参数 
(1)国家标准6个评定参数； 
(2)ISO4287 43个评定参数； 
(3)国际上推荐的14个三维评定参数。 
4 图形 
(1)二维图形，包括原始轮廓曲线、不同滤波方法滤波后轮廓曲线、tp曲线等； 
(2)三维图形，包括：轴测图、倒置图、等高图、等截距截面图、面支撑率图、灰度图等。 
5 形状误差、波度、表面粗糙度分离评定软件。