标准配置技术指标
工作模式 透射或反射
透射方式 探针照明和探针接收
光源波长 532nm，10mW（可选配Ar离子激光器实现多种波长）
样品要求 尺寸≤Φ20mm
X-Y线性扫描范围 20μm×20μm
探针 红色与绿色孔径<100nm
探测器 光电倍增管
精密探针定位 4×4mm，分辨率：5μm
扫描台在Z方向的线性移动范围
3μm
光学分辨率 50～100nm管
剪切力分辨率 Z：1nm，X/Y：10nm
样品定位 30×30mm
样品台水平移动范围 5mm×5mm
Z步进距离 ＜200nm
观察系统 分辨率2μm，观察视野2mm，放大倍率28X－100X，彩色CCD观察0.9-2mm，彩色CCD放大率93X－325X
控制系统 全数字控制装置
防震方式（选购） 精密防震平台（VLT-B09-06）

透射方式：

对透明薄膜样品，照明光源经物镜聚焦在样品表面，光探针在薄膜的另一表面扫描，由探针接受样品表面散射光，获得近场图像。

采用长焦距物镜焦点能够达到并照明厚样品的表面。物镜在三维空间可调。

反射方式:
对不透明样品可以改变仪器光路和探测器位置实现反射式测量。需另外增加接收探头。提供Windows系统下的应用程序。

可以同时获取光学图和形貌图像的，提供一至两个附加的采样通道和相应的图像显示存储功能。提供图像数据与标准图像格式的转换。

提供伪三维图像显示，FFT滤波、平面校正、曲面校正功能。

电子电路驱动微扫描器，样品微扫描台上随扫描台在XY平面内扫描，在Z方向进行精密移动，由光纤探针和石英音叉构成的光学探针由微动电机驱动，进行粗逼近。石英音叉传感器检测光纤探针与样品的剪切力，通过电子学反馈控制系统反馈给扫描平台，使探针与样品之间的间距恒定在纳米量级。由光电探测器探测光纤接收或发射端的光强，获得样品表面形貌和近场光能量分布；本装置由测量主题（光源、物镜、探针、扫描台等），扫描驱动电源，光电检测电源，CCD监视器，微机系统组成。