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技术参数
主要特点
仪器介绍
SolarusTM(型号950)高级等离子清洗系统
SOLARUS - 全新先进等离子体清洗系统,去除碳氢化合物对TEM和SEM样本载台或样品的污染。Solarus是新一代等离子系统,其改造的新概念和最新技术令它具有更佳的性能,操作简便和良好的清洗效果。与市面上其他任何等离子清洗体系统相比,Solarus能提供最有效的清洗效果。
SOLARUS具有明确的区别特点:
1. 专用化学气体H2/O2(专利申请)。 这一独特优势,化学清洗时能减少溅射损伤所有样品,甚至可以清洗多孔碳膜。与传统Ar/O2气体清洗相比,使用H2/O2气体清洗还可以进一步延长样品的冷冻状态保持时间。
2. 交互式触摸屏提供预先编程的气体配比,优化工艺参数,具有更好的一致性和可重复性。
3. 实时RF自动匹配和可变RF电源(10W-65W) 能确保在任何清洗条件下,提供最适宜的等离子体功率,损坏最小。
4. 质量流量控制器(MFC)提供准确的气体控制量,使等离子体清洗机性能长期稳定,具有H2, O2和 Ar三个独立的组分通道。
5. 通过前面两个插口多功能腔体能接受两个透射电镜样品杆,同时打开顶部的盖子能装入多种扫描样品。
6. 涡轮泵系统不停运行使整体循环速度提高几倍。 泵 - 50秒 VS竞争对手的3分钟;通风 - 5秒VS竞争对手的6分钟。
7. 多语言系统操作指令包括英语、德语、法语、中文、韩语、日语。
Solarus独特的设计提供更好的性能和更高的生产量:
1. 改进温和清洁,没有溅射;
2. 优异的重复性;
3. 清洁参数适应性更多,可适用于更多种类的材料;
4. 更快的清洗速率使得其有更高的清洗数量。
等离子体清洗机的优点:
- 增强成像能力(低电压)
- 化学微量分析时提高精度
- EDX和EBSD 有更长时间的读取和获取次数
STEM和EELS分析必须使用较小尺寸探针
分析方法
此仪器尚未上传分析方法
相关资料
- 询价产品:等离子清洗机 950
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