技术参数

1、纵向扫描范围：0.1nm~1mm (标配）
2、垂直扫描速度：25um/s
3、样品台尺寸：200mm

主要特点

1. 非接触测量
2. 重复性高
3. 测量精度高

仪器介绍

Wyko NT9800 光学轮廓仪在0.1nm 到 10mm 的垂直扫描范围内提供了非接触式高速高精度三维表面测量工能，纵向分辨率可达0.1nm。NT9800 采用了Veeco专利的内部实时激光参考信号进行持续的自校准，减小了通常情况下使用标准块校准设备的需要，并且能够补偿工作环境下系统产生的热漂误差。作为业内领先的第九代Wyko NT系列光学轮廓仪产品，NT9800 具有最高的自动化水平，友好的用户界面，以及业内最好的Wyko Vision分析软件系统。众多先进技术的集成、经过长期实用验证的测量技术核心以及适合于各种专业应用需要的软件功能，使 NT9800 成为世界上最先进的光学干涉测量设备，可满足MEMS、金属研究、材料科学、半导体、医用器械等众多领域科研和生产工作中对高精度自动化表面测量的需要。

分析方法

1.NT9800产品手册

技术参数

主要特点

仪器介绍

分析方法

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