最小可检漏率：5×10-12Pa•m3/s
漏率显示范围：1×10-3～1×10-12Pa•m3/s
启动时间：≤5min
响应时间：＜2s
检漏口最高压力：1000Pa
极限真空：5×10-4Pa
主机尺寸：560（W）×420（D）×300（H）

新型进口复合性分子泵提高了抽气速率，改善了氦本底的清除时间，有效防止氦污染
电磁阀组合阀座的设计减少了连接管道，缩小了体积，使产品更可靠
180°扇型偏转磁场的质谱室设计，提高了检漏仪的稳定性
全自动控制操作模式，使用更方便、快捷
按下调零键既可快速清楚氦本底信号
离子源内双灯丝自动切换，使得离子源寿命更长久
进口放大器的使用，提高了放大器的性噪比，从而提高了检漏灵敏度
逆流法检漏模式使得灯丝寿命更长
机械部件和电气、电子部分严格分开，避免了电磁场和温度的干扰，让仪器运行更可靠
故障诊断信息提示，使故障判断变得容易
电气部件的模块化设计使得维护更方便

SFJ-261型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，达到目前国际上先进水平。