1.分辨率:高真空(SE)3.0nm at 30kv,8.0nm at 3kv
低真空模式(BSE,LVSTD)3.5nm at 30kv
2.放大倍数:6 to 1000000×
3.真空系统:高真空<9*10 ^-3Pa，
低真空：3~500Pa,最高可达2000Pa,高、低真空可随时方便切换.
4.加速电压0.2kV to 30Kv
5.电子束电流1pA—20uA
6.样品室内部直径：160mm
7.样品台行程:
3轴马达控制
X=45mm——马达控制
Y=45mm——马达控制
Z=27mm——手动控制
Z'=6mm——手动控制
R=360°连续马达控制
T=-75°到 50°手动
最大样品高度30mm.

国内唯一一家已实现中文软件控制的电镜厂商
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置;
3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;
4.真空系统采用机械泵和一台分子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.
5.采用机械-橡皮垫减震系统
6.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
7.8个外扩展接口.
8.可进行远程控制

VEGAII SBU是专为生物，材料领域开发的扫描电子显微镜，其真空度最高可达到2000Pa,可满足所有生物和材料样品的要求。独有的四种观察模式使得观察点的寻找更方便，图片获取更快捷，标配内的15种图像处理功能和13种图像测量功能使得图片更清晰，且具有针对性。