GTS-1数字化光栅投影云纹摄像仪

（可根据用户要求定制）

用白光作为光源，将较密的栅线，如6线/mm到10线/mm的栅投影到被测物的漫射面上，利用CCD授受信息输入计算机中，经过图像处理，可以精确计算出物体的形貌。这一方法不受栅板尺寸的限制，投影栅板做得好，可以对整个汽车或飞机机翼及机身进行测量。还可以用显微投影加上长距离显微镜系统放大，对细小被测物进行测量（如尺寸为1mm左右的物体）。无论是对大物体或小的细观测量，均可以用相移方法提高其灵敏度。所以这一技术发展相当快，一是用于大型结构上，如汽车外壳、飞机机翼和机身、火箭、大型船舶的局部，大型天线等；二是用于细小微观测量上，如硅片的平整度，人造晶体生长的形状测量、咱子浸水后的膨胀规律测定上。投影栅法的发展和制栅技术、计算机图像处理、相移技术、显微投影、长距离显微镜等技术密切相关，发展十分迅速。系统的测量灵敏度与被测面积有关，一般直径1mm的测量可到灵敏度为0.1微米；10mm的测量面积可到1微米。

一、 仪器配置及参数

白光光纤冷光源150w；

带有机械式相移机构的8~15线/mm投影光栅；

带有75mm定焦投影放大镜头的投影系统；

数字式CCD，大恒1394口，1K×1K分辨率；

F25百万像素定焦镜头；

测量范围，2mm2-100mm2平面型物体；

测量灵敏度，0.01mm；

六自由度试件载物台；

进口图采卡：Meteor-II；

图像采集、处理及计算软件：结果可以图像数字化输出；

二、 选配件

A） 隔振台：0.8m×1.2m；台高800mm、主动式气垫隔振、5Hz；

B） 演示试件：表面喷砂，带有5mm直径的微坑；