简 介

5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。

特点：

Ø 采用在世界上无与伦比的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。

Ø 通过独特的MP（脉冲调制）方式，可以有效的发挥离子除电性能。

Ø 平衡的电位，即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。

Ø 通过智能控制电路，可自动管理离子发生状态及离子平衡度。

Ø 1/4圈可以拆卸更换电极，有助于减少维护工时。

Ø 电位波动小的MP方式的特性，简化了组装。另外，电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。

Ø 设定了适合半导体前工序EFEM用的除静电棒长度。

Ø 内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。

Ø 可用于全球高层次网络。

产 品 规 格