波长范围：160-850nm
光学系统：双光栅分光器
光栅刻线数：4960条/mm（160-372nm）
真空紫外区元素对应：真空型分光器
分器温度：恒温控制
RF高频发生器：晶体振荡型
频率：27.12MHz
炬管：垂直放置
观测方向：纵向观测、轴向观测切换（选配）
雾化器：同心型
雾化室：旋流雾室
等离子体炬管：标准炬管
软件：定性分析、定量分析、110000条谱线专家数据库、漂移校正、内标校正、背景校正、空白扣除、共存元素校正

岛津ICP采用的晶体管固态高频发生器，是目前商品化ICP光谱仪中，体积最小、重量最轻的发生器。雾化效率高，达到65%。所以，载气可以用工业氩气（99.95%），而无需使用高价的高纯氩气（99.999%）。

ICPS-8100是顺序扫描型ICP，具有高分辨率，更适用于基体复杂的样品，如稀土、钼、钨等。ICPS-8100使用岛津自主生产的全球最高刻线的光栅（4960条/mm），对UV区谱线实现全球最高分辨率。