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反射式膜厚量测仪

价格： 面议

产品型号：大塚电子

公司名称：先锋科技（香港）股份有限公司

所在地：北京海淀

发布时间：2023-08-29

联系人：王超

联系电话：13810146393

先锋科技（香港）股份有限公司

产品简介

反射式膜厚量测仪对应所有基板上多层膜测量的光干涉膜厚仪。实绩很多。 高精度，高感度从薄膜到厚膜的广范围多层膜分析

产品详情

可对应所有基板上多层膜测量的光干涉膜厚仪。实绩很多。
高精度，高感度从薄膜到厚膜的广范围多层膜分析

反射式膜厚量测仪的产品特点

• 对应紫外到近红外（190～1600nm）广波长范围。
• 利用高分辨率传感器，可对应厚膜以及超厚膜样品类型：0.8～1mm
• 利用非线性*小二乘法薄膜解析软件，可解析多层薄膜的膜厚，光学常数（n:折射率，k：消光系数）等薄膜特性。
• 利用背面反射补正，对应透明基板
• 可测量微小光斑（*小3μm）的分光光谱
• 可对应大型样品

光学系图
 
 
式样

样品尺寸	200mm*200mm*7mm（厚度）
测量膜厚范围	1nm-1mm
测量波长范围	190nm~1600nm
可测量层膜数	*大50层
传感器	电子冷却型光电二极管配列 电子冷却型CCDarea image sensor

 
测量项目
多层膜解析
光学常数解析(n：折射率k:消光系数)
绝对反射率
 
测量实例

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