仪表展览网>产品库>材料光学测量设备

薄膜测厚仪FE5000

价格： 面议

公司名称：先锋科技（香港）股份有限公司

所在地：北京海淀

发布时间：2023-08-29

联系人：王超

联系电话：13810146393

先锋科技（香港）股份有限公司

产品简介

薄膜膜厚测量仪 通过自动多角度椭圆偏振光测量仪实现 高速的薄膜膜厚测量和高精度的光学常数解析

产品详情

通过自动多角度椭圆偏振光测量仪实现
高速的薄膜膜厚测量和高精度的光学常数解析

可对应各种选配，膜厚的特制解析
 

椭圆偏振光测量仪FE5000应用范围

• FPD                           LCD,PDP,FED,有机El
• 半导体                       a-Si，poly-Si，其他
• 复合半导体                 半导体激光，强电介质                        
• 数据储存                     DVD,HDD,磁气头                       
• 光学材料                     膜，防放射膜      
• 膜                              AR膜   

 
 
FE-5000S
FE-5000的基础上追加了FE-5000S系列。FE-5000S虽然和FE-5000有相同的基本功能，但是价格低，省空间。光谱椭偏仪的用途也得到扩大。


 
功能进一步展开的光谱椭圆偏振光测量仪FE5000
高速高精度
 
纳米级的薄膜膜厚测量  

• 非接触非破坏实现多层膜的解析

 
材料表面光学常数（n.k）的测量 

• 可求得膜厚以及光学定数的波长分散

[膜厚，光学定数  (n:折射率、K：消光系数)、椭圆偏光仪（tanψ、cosΔ）]  

• 提供膜厚管理膜质管理有用的信息

 
通过400ch以上的多通道光谱法，迅速测量椭圆光谱

• 可实现一分钟以内的高速测量
• 光谱点多，所以坡度大的椭圆光谱也可正确测量

 
 
利用多波长光谱仪实现高精度高感度测量
测量反射角度可变，对应薄膜的高精度解析
可对应特制解析的材料物性和多层膜等的高度评价

• 利用有效媒质近似（EMA）可测量复素折射率的波长分散，混合结晶的混合比，界面的厚度等。
• 利用各种光学常数函数和膜model解析，可对应薄膜界面等的材料物性评价
• 利用多层膜fitting解析的光学常数测量实现了膜厚膜质管理
• 通过光学常数数据基础化和菜单登陆功能，改善了操作性

商铺其他产品

联系商家 立即询价

发布询价单 

• 询价产品：薄膜测厚仪FE5000
• 询价数量：   /个
• 联系人：
• 联系电话：





