中频感应电源:25KW,频率0.2 - 20 KHz
提拉速度:0.1-10mm/h; 旋转速度:0 ~~ 40 RPM
最高熔炼温度: 2100°C
电源要求: 三相, AC 380V, 100A , 25KW
真空腔尺寸: 50 cm dia. X 70 cm
机械泵真空度可达10-3 torr , 扩散泵真空度(选配)可达10-6 torr
欧陆温控仪可获得温度精度< +/-0.2 °C
电子秤 ( 下称重)在生长过程中可自动控制晶体的直径
水冷要求
水压: 0.13~~0.18MPa
水流量: 60 L/minute
炉子尺寸:
炉体: 88 L x 125 W x 285 H, cm
控制单元: 68 L x 54 W x 170 H, cm
中频感应电源: 110 L x 50 W x 150 H, cm
总高度:235cm
重量: 净重 1.5 吨 运输重量1.8 吨
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