产品型号：

OTF-1200X-RTP-II 快速蒸发管式炉

产品简介：

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉，专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD，炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体的顶端和底部，其升温速率高达20ºC/S 。温控系统为PID30段程序化控制，控温精度为+/-1ºC。仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出.

真空腔体：

l  材质：腔体为一高纯石英管

l  尺寸：11" OD x 10.8"ID x 9" H

技术参数：

l  真空法兰：

1)   真空法兰材质为316不锈钢制作

2)   顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口

3)   底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口

4)   法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封， 通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr，用分子泵其真空度可达到10-5 torr

5)   两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动

6)   一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度

l  混气系统：可选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）

l  加热元件和载样台：

1)   由两组IR红外灯管进行加热

2)   额定功率800 W，总功率1600W

3)   为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上

4)   一个3"的基片载样台安装腔体顶部

5)   紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick）,使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀

6)   3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料

7)   内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

l  热电偶：两个S型热电偶分别安装在上下法兰上

l  温控系统：

1)   两个控温系统都为PID30段程序化控温 

2)   可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

l  工作温度：

1)   两个加热区域单独工作的最高温度：<= 650ºC

2)   两个加热区域最大温差：<= 350 ºC

l  加热和冷却速率：

1)   加热速率：>10ºC/S

2)   冷却速率：>20ºC/S ( 650 - 200oC)

l  电源电压：208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关）

可选配件：

真空泵和水冷系统

产品证书：

  CE认证