EQ-PCE-3 等离子清洗机

产品型号：	EQ-PCE-3 微型台式等离子清洁仪（带真空泵）
产品简介：	EQ-PCE-3 是微型台式等离子清洁仪，这款离子清洁仪可利用空气、氧气或氩等离子来清除玻璃、半导体、高分子材料、金属基座的表面纳米有机污染物，在高射频（RF）功率的情况下的最大有机物去除率约为10nm/min 。对材料进行涂覆镀膜前,使用本等离子清洁仪对单晶基片进行清洁能获取更好的效果。
主要特点：	外型美观精巧可调节射频功率(高、中、低) 操作安全,成本低廉,对人类和环境无害
技术参数：	1. 输入电源：115V AC ,50/60 Hz；或 230V AC, 50/60 Hz, ﹤ 200W 2. 输出频率：13.56 MHz 3. 等离子发射频率：三种可调输出电压: 低 680V DC 10mA DC 6.8W 中 700V DC 15mA DC 10.5W 高 720V DC 25mA DC 18 W 4. 等离子舱体：76mm(直径)x 165mm(长) 硼硅酸玻璃舱体可拆卸式前盖 5 .真空泵与控制阀门：双极旋片真空泵 (110V, 226 L/m) 带过滤器和KF-D25闸口----配有KFD25接头, 600mm长不锈钢管与高质量的过滤器 6. 最大终端压力为30 mTorr或更小 7. 1/8" NPT 针型阀门有效控制气体的流动和舱体内的压力 8. 1/8" NPT 三通阀门以便放散气体, 舱体隔离及泄气状态的转换 9. 惰性气体：根据所需清洗的污染物可选择采用N2, Ar, Air 和混合气体注意不能使用可燃性气体
标准配件：
可选配件：	若使用2"晶体石英舟,这种清洁仪能一次处理25个直径2"的晶体；数码真空计量器，用于精确调控舱体压力
产品规格：	规格：216mm(H) x 254mm(W) x 203mm(D) 净重：6.5 kg （不带真空泵）14.0 kg（带真空泵）