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性能指标和基本配置 | |
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设备名称 |
4路质子混气管式PECVD系统—OTF-1200X-50-4CLV-PE |
外形尺寸 |
长*宽*高 2080mm*700mm*1520mm |
炉管规格 |
外径: 100mm 内径: 96mm×长: 1800 mm |
加热炉主要参数 |
● *高温度: 1200℃ ● 额定工作温度: 1100℃ ● 推荐升温速率:≤10℃/min ● 加热区长度: L总:440mm(双温区包括隔环) 温区一:200mm 温区二:200mm ● 加热炉额定功率:3KW ● 滑动方式:电动控制 ● 滑动*大行程:600mm ● 电压:单相AC 208 - 240V, 50HZ |
温控系统 |
● 欧陆EPC3000仪表 ● 模糊PID控制和自整定调节功能 ● 智能化24段可编程控制 ● 带过电流过电压保护 漏电保护 ● 电气元件及电缆,冷压端子均符合UL认证标准 ● 控温精度: ±0.1℃ ● 控温:K型热电偶两根 ● 通讯协议:modbus RTU |
软件控制 |
● 可视化运行状态监控 ● 温控系统,气路系统,真空系统,射频系统,滑动炉体,开合炉体,压力控制,全自动化, ● 数据记录、过程记录集成一体 ● 预制工作流程,一键自动运行 ● 具有恒压功能,可以设定气体流量和恒定压力 ● 压力控制:采用TRP-12(抽速3L/s)的双旋真空泵,在总进气量为100-150sccm,管内压力为 100-130pa,如总进气量高于150sccm时,请更换抽速更高的泵,测试为总进气量为1L/min(满足四路质量流量计全开状态时),使用VRD-60泵(抽速18L/s),*高真空为120-130pa(满足起辉条件),可在任意供气量下设定任意气压值(该气压值需大于搭配泵体的*大真空值),气压值可自动稳定 |
新式快捷法兰 |
可方便快速取放物料 |
射频电源 |
● 500W射频电源 ● 0--500W可调(稳定性±1%) ● 射频频率:13.56MHZ ● 自动匹配 风冷 ● 噪音<50dB ● 输入电压:AC108-250V |
供气系统 |
● 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精-确控制(精-确度:±0.02%) ● 流量范围:一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm 注:接入供气系统的气源需搭配减压阀,将气压降至2mpa以下 |
真空系统 |
● 搭配TRP-12的双旋真空泵(抽速3L/s)(总进气量小于150sccm,该泵可以达到等离子发生真空度) ● 搭配TRP-60双旋真空泵(抽速10L/s)(总进气量1L/min,该泵可以达到等离子发生真空度) ● KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵 ● 真空度可达10-²Torr |
备注 |
注:采用氩气高于射频功率200w情况下,需特殊说明,设备需要特殊改造及测试,(有法兰过热情况) |
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