双炉体滑动PECVD系统 OTF-1200X-PESDFG-50

技术参数
双炉体滑动PECVD系统炉体结构（点击图片查看详细资料）	● 两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果 ● 连续工作温度:1100℃ ● 两个炉体都可以设置30段升降温程序
等离子体射频电源	● 输出频率: 13.56 MHz ±0.005% ● *大射频功率: 500W ● 匹配: 自动匹配 ● 噪音: <50 dB. ● 冷却: 空气冷却 ● 输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz
真空系统	● 采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr ● KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连 ● 管内真空可达10E-2 Torr
质量流量计混气系统	● 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制 ● MFC1范围: 0~100 sccm ● MFC2和3: 0~200 sccm ● MFC4范围: 0~500 sccm ● 一个混气罐，底部装有泄废液口 ● 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体 ● 进气口: 4个1/4NPS ● 出气口: 4个 1/4NPS. ● 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制 ● 可选购气液混合装置，用于CVD系统
炉管&密封法兰	● 高纯石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L ● 配有一套不锈钢密封法兰，并且上面安装有真空计
防腐型真空计	● 输入电源 24V，1A DC（配有一电压转换器） ● 测量范围 3.8x10-5 -1125 Torr. ● 数据显示数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr ● 接头 KF16 接头 ● 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
循环手套箱	● 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H) ● 带有除水系统：保持水含量< 2 ppm ● 一真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管相连接
质保期	一年质保期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈）
质量认证	● CE 认证 ● 所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证

关键词：双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱