定向CVD生长炉 OTF-1200X-50-DSL

性能指标和基本配置
炉体结构	● 采用双层壳体结构，并带有风冷系统 ● 一个滑轨安装在炉体下端，可通过一6“的触摸屏来控制炉体移动方向、滑动速度和往返次数 ● 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可提高加热效率和延长使用寿命。
功率	1.5KW
电压	AC220V，单相
*高共工作温度	1200℃（≤1小时）
连续工作温度	1100℃
加热区域	● 加热区：200mm(单温区） ● 通过管堵位置和炉体移动可形成想得到的温度梯度
加热元件	掺钼铁铬铝（表面涂有高温氧化锆涂层，可延长其使用寿命）
炉管	● 高纯石英管 ● 尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L ● 仪器加热前，必须放入管堵，以防止热量辐射影响法兰的密封性
温控系统	● 采用PID方式调节温度，可设置30段升温、降温和保温程序 ● 设置有温度过高和断偶保护系统 ● 控温精度：±1℃ ● 可选测PC控制软件，将升温程序和温度曲线导入到电脑中
炉体滑动控制系统	● 触摸屏控制 ● 炉体移动有手动和自动控制两种控制状态，在手动状态和自动状态下均可设定左右移动的速度，但只有在自动状态下才能设定左右移动的次数。 ● 含蜂鸣报警器，当炉体触碰到限位开关就会产生报警，并切断控制电路，使炉体停止移动。 ● 可显示高温炉内的炉温，与之通讯
密封法兰	● 仪器中配有一套不锈钢密封法兰（上面已安装不锈钢针阀和机械压力表） ● 法兰上有一Φ6.35的铠装孔，可将热电偶插入到炉管中，更准确地测量样品的实际温度
石英气体喷嘴	可选配石英气体喷嘴，将反应气体与缓冲清洗气体分开通入，可有效减少副反应发生，实现优异CVD工艺，如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺（ALC CVD）或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。
真空度	● 10E-5 torr （用分子泵） ● 10E-2 torr （用直联式机械泵）
滑轨长度	1200mm
产品尺寸	● 315 x 300 x 380 mm (炉体) ● 1200 x 400 x 530 mm ( 整个外形) ● 360 x 180 x 300 mm（电器控制柜）
重量	100Kg
质量认证	CE certified
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。
免责声明	本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您见谅。

免责声明：本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等），仅供参考。可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。