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性能指标和基本配置 | |
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名称 |
小型4通道管式炉 |
炉体结构 |
● 炉体由4个小管式炉组成,采用氧化铝炉管,尺寸为25 OD x 22 ID x 460 Lmm ● 每个加热模块都由独立的温控系统控制,*高温度可达1700℃ ● 快速密封法兰,安装有机械真空压力表,进气端安装有浮子流量计,样品可在真空或气氛保护环境下进行热处理 ● 可同时放入4个样品,在不同温度下进行热处理 |
加热元件 |
硅钼棒 |
工作温度&恒温区 |
● 连续工作温度1600℃ ● *高工作温度 1700℃(< 1 hrs) ● 恒温区: 30mm(±1℃),60mm(±5℃) |
炉管 |
● 高纯氧化铝炉管:Φ25X L 460 mm,4根 ● 4个浮子流量计 ● 快速连接法兰,KF25真空接口 ● 真空度:10-5 torr(采用分子泵) ● 有一真空泵接口(KF25),可在本公司购买各种真空泵 |
温度控制 |
● 采用触摸屏设置温度程序,带有超温和断偶保护 ● 4个温区分别由4个独立的温控系统控制 ● 4根B型热电偶 |
*高加热速率 |
10℃/ min |
控温精度 |
±1℃ |
淬火(可选) |
此管式炉可升级为立式淬火炉(加上旋转机构和淬火剂罐) |
功率,工作电压 |
6 KW, 208 - 240V单相, 50/60Hz |
质量认证 |
所有元器件(>24V)都通过UL / MET / CSA / CE 认证,客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CSA认证。 |
产品尺寸 |
1000 L x 650 W x 640 H mm |
质保 |
一年质保期,终生维护(不包含炉管,密封圈和加热元件) |
警告 & 应用注意 |
● 此管式炉,只可在真空或常压状态使用,炉管内的相对气压不可大于0.02MPa ● 进气流量<200 SCCM ( 200ml/min) ● 向炉管内通气的气瓶上必须安装双级减压阀(可在本公司购买) ● 可选购本公司的供气系统,可用于进行CVD实验 |
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