特征

• 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作
• 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布
• 磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命
• 标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配
• 安装是采用标准真空接头，便于操作
• 更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度

所需功率

• DC（最大）1000W
• RF（最大）500W

最大溅射电流

3A

溅射电压

100-1000 V

溅射时腔体真空度

5-100 mTorr

溅射均匀性曲线图

尺寸

• 阳极护套直径：3.5英寸
• 总长度：14英寸

靶材

• 直径: 2.0英寸(50.8mm)
• 厚度: 对于非磁性靶材，最大厚度为1/4英寸
            对于磁性靶材，最大厚度为1/16英寸
• 靶材利用率：30%
• 磁铁:NdFeB 稀土磁铁

需要冷却水

• 流速:   0.8 GPM
• 进水温度:<20 ℃
• 水管:0.25" OD.

可选配件

• 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头
• 此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸
   
• 循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
  

质保

一年质保期，终生维护