筛选
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特征 (点击图片查看详细资料)
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所需功率 |
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最大溅射电流 |
3A |
溅射电压 |
100-1000 V |
溅射时腔体真空度 |
5-100 mTorr |
溅射均匀性曲线图 |
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尺寸 |
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靶材 |
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需要冷却水 |
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可选配件 |
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外形尺寸 | ![]() |
质保 |
一年质保期,终生维护 |