500W直流等离子磁控溅射镀膜仪--VTC-2D
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仪表展览网>产品库>低真空镀膜机
价格: 面议
产品型号:VTC-2D
公司名称:深圳市科晶智达科技有限公司
地:广东深圳
发布时间:2023-08-18
深圳市科晶智达科技有限公司
产品简介
VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC电源、2"的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。
产品详情

技术参数

输入电源

  • 220VAC 50/60Hz, 单相
  • 1000W  (包括真空泵)

等离子源

一个500W600V的直流电源安装在移动柜内

磁控溅射头

  • 一个 2英寸磁控溅射头(带有水冷夹层),采用快速接头与真空腔体相连接
  • 靶材尺寸直径为50mm,最大厚度1.5mm
  • 一个快速挡板安装在法兰上(手动操作,见图左3)
  • 溅射头所需冷却水:流速10ml/min(仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机)
  • 同时可选配1英寸溅射头

真空腔体

  • 真空腔体:160 mm OD x 150 mm ID x  250mm H,采用高纯石英制作
  • 密封法兰:直径为165 mm .  采用金属铝制作,采用硅胶密封圈密封
  • 一个不锈钢网罩住整个石英腔体,以屏蔽等离子体
  • 真空度:10-3 Torr (采用双极旋片真空泵)
  •         10-5 torr (采涡旋分子泵)

 

 

载样台

  • 载样台可旋转(为了制膜更加均匀)并可加热
  • 载样台尺寸:直径50mm (最大可放置2英寸的基片)
  • 旋转速度:1 - 10 rpm
  • 样品的最高加热温度为700℃,控温精度+/- 1.0

真空泵

可选用直联式双极旋片泵,也可选用德国制作的分子泵系统

   

薄膜测厚仪

  • 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å  
  • LED显示屏显示,同时也输入所制作薄膜的相关数据

 

外形尺寸

质保和质量认证

  • 一年质保期,终生维护
  • CE认证

使用注意事项

  • 为了得到较好的金属膜,特别是针对易氧化的金属,如Al, Mg和Li等,必须通入高纯惰性气体(> 5N
  • 强烈建议采用PPM极的气体净化系统(将钢瓶中的惰性气体通过净化系统过后,再导入到真空腔体内)
  • 我们也可在设备中安装射频(RF)电源,用于溅射非导电靶材,来制备非金属薄膜
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