CGM-2F混气系统2路浮子

性能指标和基本配置
浮子流量计	两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min
混气罐	内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气
机械压力表（混气罐）	-0.1-0.15 MPa
关键和阀门	● 采用ss304不锈钢 ● 三管件接口直径为1/4”（接管可选聚四氟或不锈钢）
外形尺寸	340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
净重	约10 Kg
可选	● CVD或者PECVD ● 液相气体发生器 ● 1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X-S50-2F ● Plasma等离子清洗
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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