GSL-4Z混气系统4路质子

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价格：面议

产品型号：GSL-4Z

公司名称：深圳市科晶智达科技有限公司

所在地：广东深圳

发布时间：2023-08-18

联系人：殷菲忆

产品简介

GSL-4Z可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在GSL-4Z的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。

产品详情

技术参数

功能模块	项目	参数
混气系统	质量流量控制器	工作电压：185~245V/50Hz 最大输出功率：18W 控制范围：控制器1：0~100 SCCM 控制器2：1~199 SCCM 控制器3：1~199 SCCM 控制器4：1~499 SCCM 工作温度：5~45 ºC 最大压力：3x106 Pa 准确度：±1% FS
	机械压力表	测量范围： -0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
	针阀	316不锈钢
	混气罐	Φ80X120mm
	截止阀	Φ1/4”316不锈钢针阀
	尺寸	600x600x650 mm

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