输入电源

AC220V单相/50HZ

 质子流量控制器

流量范围：

• 一路：1—99SCCM 
• 二路：1—199SCCM
• 三路：1—199SCCM  
• 四路：1—499SCCM
• 其他量程可以选定 ，标准的均以N2标定（通入其他气体时可以根据说明书中列出的气体转换系数，算出所要设定的气体流量）。 
• 工作温度：5—45℃
• 准确度：±1.5%F.S.
• 线性：±（0.5-1.5）%F.S.
• 重复精度：±0.2%F.S.

控制面板

• 各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上        
• 可通过触摸屏设定每个通道的气体流量，实时查看各通道的流量曲线和设定数据（点击图片查看详细资料）

机械压力表

• 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 
• 量程：-0.1Mpa—0.15MPa

气路接口

 气路的接口都采用6.35的不锈钢卡套接头

通气管道

内部连接管道为1/4”不锈钢管 

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

材料：304不锈钢 Φ80×120mm

外形尺寸

 长600×宽745×高700mm

质保期

一年质保期,，终生维护

质量认证

CE Certified