EFU是与液晶设备、激光设备、单/多晶硅光伏设备，自动化设备等加工生产设备配套使用的洁净设备，可以区域洁净度达到1级-1000级。

特点：

1.     体积小，超薄厚度，含高效最小厚度可达到150mm，被称为最薄的FFU；

2.     重量轻，含高效总重量达到5.5kg；

3.     超低噪音：56dB

4.     超高洁净等级：ISO3级（1级）、ISO4级（10级）、ISO5级（100级）洁净等级。

5.     可以根据客户设备规格要求选用标准产品，也可订制特殊规格的EFU。