Optical NanoGauge (膜厚測定装置) C11627
分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。光源、分光器、データ解析部を一体化させ、本体とファイバのみのコンパクトな構成になりました。関連装置への組込みを前提に小型・省スペースに設計され、多様な測定対象に対応します。また、リファレンスフリーなので、手間のかかるリファレンス計測の必要がなく、短時間で高精度な測定を長時間安定的に行うことができます。
製品説明
特 長
● リファレンスフリー
● コンパクトで省スペース
● 外部機器から制御可能
● 高速・高精度