供应低能电子束辐照源

低エネルギー電子線照射源

EBエンジンは、フィラメントから生じた熱電子を高電圧で加速してエネルギーを高め、窓箔からその電子線を大気中に取り出します。出射窓には透過性の良い軽元素であるベリリウム箔を採用し、低エネルギーの電子線を効率よく照射することができます。
ライン照射型低エネルギー電子線照射源EBエンジンは、加速電圧を40 kV〜70 kVまで可変でき、電子線をスキャンすることで150 mm幅試料への均一な電子線照射が可能です。照射源を並列配置することにより、300 mmウェーハや、更に幅広なフィルムなどへも一括照射が可能となります。

パンフレット (1000 kB)

スポット照射型EBエンジン応用例の紹介

株式会社ワイエムシィ様のマイクロリアクタを搭載したスポット照射型電子線照射装置を、島根県産業技術センター様にご導入いただきました。

▲マイクロリアクタ

株式会社ワイエムシィ様のWEBサイトはこちら
http://www.keyboardchemistry.com/introduction_example.html

島根県産業技術センター環境技術グループ様の研究計画　（出典：島根県産業技術センター WEBサイト）

研究テーマ：	放射線を利用した新規機能性ナノスケール構造体の創造（H19-23）
事業名：	文部科学省　放射線利用・原子力基盤技術試験研究推進交付金事業
研究内容：	放射線を利用した貴金属ナノ構造体の設計とその応用として、電子線またはγ線による貴金属ナノ粒子の製造方法の開発を行い、マイクロリアクター用触媒への応用を検討する。また，放射線を利用した有機薄膜の高機能化とその応用として、放射線グラフト重合により環境浄化などに有効な有機機能性薄膜を創製し、マイクロカプセルの表面修飾などについても検討を行う。

EBエンジン紹介

→ 電子線照射の効果や応用例などをご紹介しています。（2010年2月18日公開）

→ 弊社にてデモルームを用意しております。電子線照射デモをご希望の方はお気軽にお問合せください。

用途

■樹脂／フィルムの改質
■半導体部材の改質
■EBインキの硬化
■殺菌
■各種材料評価実験（架橋、重合、etc.）

特長

■薄膜改質に最適な電子線加速電圧範囲：40 kV～70 kV
■高い改質効率：ベリリウム窓採用
■簡易メンテナンス：消耗品をユニット化
■小型・軽量：約 31 kg

ラインアップ