L9499

クリーンなイオン生成方式「Photoionization（光電離）」を利用した光イオン化システム「Photoionizer」。従来のコロナ放電方式とは違い、塵・電磁ノイズ・オゾンの発生しないクリーンな除電を実現。さらに、イオン生成バランスが均等であるため逆帯電を起こす事がありません。帯電体近傍の分子をイオン化させて除電するため除電効率が極めて高く、従来困難であった高速移動体や粉体等の除電も瞬時に行う事ができます。静電気除去の抱える問題を「対象物」・「スピード」・「環境」・「信頼性」の点で解決した静電気除去システムです。

半導体・液晶製造工程では、静電気による製品への異物の混入や付着、また素子の絶縁破壊が問題になっています。これらの製造工程では有機溶剤が使用される事もあり、防爆型の要望が従来より数多くありました。防爆型フォトイオナイザは、国内 防爆規格（検定：社団法人　産業安全技術協会）に適合するように開発致しました。従来のフォトイオナイザ同様電極からの発塵やオゾンの発生等の問題がなく、クリーンな除電を実現しています。

現在、医療業界などからも注目を受けており、実際に使用されているユーザーも増えています。

フィルムの印刷工程

塗布／現象後の薬液洗浄

製品の特長

●着火危険性のない微弱Ｘ線方式
●微弱Ｘ線の照射された全ての範囲でイオンが常時生成される
●帯電体近傍で生成されたイオンが除電に寄与するため送風が不要
●電極の清掃が不要
●塵・電磁ノイズの発生「0」

主な用途

●半導体製造工程　●ハードディスクドライブ製造工程　●フラットパネルディスプレイ製造工程
●電子部品実装工程　●産業用ロボットを使用している工程　●医療設備　●粉体製造工程

L9499　基本仕様

除電方式

微弱X線照射方式

イオン発生源(種類)

微弱X線管

微弱X線管

管電圧9.5kV
管電流150μA
X線照射角90度

電源電圧(AC)

100V～240V(50Hz/60Hz)

消費電力

33W Max (ヘッド部3台接続時)

イオン発生源　保証寿命

1000時間

質量

ヘッド部3.2kg
コントローラ部6.3kg

動作周囲温度

0℃～+40℃

保存周囲温度

-10℃～+60℃

安全機能

外部接点によるインターロック機構
X線出射に連動した信号出力用機構

外部制御

モーメント(瞬時)動作、オルタネート(連続)動作切り替え可能

外部信号出力

主電源ON、イオン生成ON、インターロック有効、イオン生成源寿命