KASUGA静电电位监视装置KSD-0120

・能用1台控制器连接最大2ch的幅度电位传感器(KS-2100)、能廉价地制造静电监视系统。
・因为是小型传感器部、能设置在各种制造装置内比较窄的地方、连续监视可能。
・因为有警报设定、如果在超越了设定的电位时、能与各种制造装置传动。
・装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。

KSD-0120的规格

用途
・监视平面显示器生产工序中的带电量。
・监视半导体硬芯片(wafer)的带电量。
・监视LSI 处理中及印刷电路板搬送中的带电量。

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